Ny firafitry ny Piezoresistive Sensor

Ao amin'io sensor io, ny tady resistor dia tafiditra ao amin'ny diaphragm silisiôma monocrystalline amin'ny alàlan'ny dingan'ny fampidirana mba hahatonga ny chip piezoresistive silisiôma, ary ny periphery amin'ity chip ity dia napetraka ao anaty akorandriaka, ary ny fitarihana electrode dia mivoaka. Piezoresistive fanerena sensor, fantatra ihany koa amin'ny hoe mafy-fanjakana fanerena sensor, dia tsy mitovy amin'ny adhesive fanerena gauge, izay mila mahatsapa ny ivelany hery ankolaka amin'ny alalan'ny lasitike saro-pady, fa mivantana mahatsapa ny fanerena refesina amin'ny alalan'ny silisiôma diaphragm.

Ny lafiny iray amin'ny diaphragm silisiôma dia lavaka fanerena avo lenta mifandray amin'ny fanerena refesina, ary ny ilany iray dia lavaka fanerena ambany mifandray amin'ny atmosfera. Amin'ny ankapobeny, ny diaphragm silisiôma dia natao ho faribolana misy periphery raikitra, ary ny tahan'ny savaivony amin'ny hateviny dia eo amin'ny 20 ~ 60. Efatra P efatra fanoherana fahalotoana dia miparitaka eo an-toerana amin'ny diaphragm silisiôma boribory ary mifandray amin'ny tetezana feno, ny roa amin'izy ireo dia ao amin'ny faritra adin-tsaina compressive ary ny roa hafa dia ao amin'ny faritra mihenjana, izay symmetrical mikasika ny afovoan'ny diaphragm.

Ankoatra izany, misy ihany koa diaphragm silisiôma efamira sy sensor tsanganana silisiôma. Ny sensor cylindrical silisiôma ihany koa dia vita amin'ny tady resistive amin'ny alàlan'ny diffusion amin'ny lalana iray amin'ny fiaramanidina kristaly amin'ny cylinder silisiôma, ary ny roa tonta adin-tsaina manohitra tady sy roa compressive adin-tsaina resistive strip dia mamorona tetezana feno.

Piezoresistive sensor dia fitaovana vita amin'ny diffusion fanoherana amin'ny substrate ny semiconductor fitaovana araka ny piezoresistive vokatry ny semiconductor fitaovana. Ny substrate azy dia azo ampiasaina mivantana ho sensor fandrefesana, ary ny fanoherana ny diffusion dia mifandray amin'ny substrate amin'ny endrika tetezana.

Rehefa simba noho ny hery ivelany ny substrate dia hiova ny soatoavin'ny fanoherana ary hamokatra vokatra tsy mifandanja ny tetezana. Ny substrate (na diaphragms) ampiasaina ho sensor piezoresistive dia ny ankamaroan'ny wafers silisiôma sy ny wafer germanium. Ny sensor piezoresistive silikonina vita amin'ny wafers silisiôma ho fitaovana saro-pady dia nahasarika ny saina bebe kokoa, indrindra fa ireo sensor piezoresistive solid-state amin'ny fandrefesana ny tsindry sy ny hafainganam-pandeha no be mpampiasa indrindra.