Sensor tsindry maotera 2cp3-68 1946725 ho an'ny Carter Excavator

Fomba iray hanomanana sensor tsindry, mampiavaka ny fanazavana ireto manaraka ireto:

S1, manome walfer miaraka amin'ny lamosina sy ny lamosina iray; Mamorona tsipika filozoresistia sy faritra mifandray amin'ny fifandraisana an-tsokosoko be dia be eo amin'ny sisin-tany; Mamorona lava-bato lalina amin'ny fanentanana ny lamosin'ny lamosina;

S2, Famatorana takelaka fanohanana eo an-damosin'ny wafer;

S3, ny fanamboarana lavaka sy tariby metaly eo amin'ny sisiny eo anoloana ny wafer, ary mampifandray ny tady filozoresistive mba hamoronana tetezana iray;

S4, fametrahana sy fananganana sosona passivation eo anoloana ny onjam-peo, ary ny fisokafana ny ampahany amin'ny sosona passivation mba hamoronana faritra pad. 2. Ny fomba famokarana ny sensor tsindry araka ny fitakiana 1, izay misy ny dingana manaraka ireto: S11: Manome walfaina miaraka amin'ny lamosina sy ny lohany S12: Ion IMPLANTIVE dia ampiasaina eo anoloana eo anoloana ny sombin-tsoavaly, ny fehin-kibo komandiistie dia amboarin'ny mari-pana amin'ny mari-pana avo lenta, ary ny faritra mifandray aminy dia am-pampianarana be; S13: fametrahana sy fananganana takelaka miaro eo amin'ny sisin'ny henan-tsoavaly; S14: etching ary mamorona lavaka lalina ao ambadiky ny wafery mba hamorona sarimihetsika saro-pady. 3. Ny fomba famokarana ny sensor tsindry araka ny fitakiana 1, izay misy ny walfer.

Tamin'ny 1962, Tufte et al. nanamboatra ny tsindry pomezoresistitive misy silicon silicon miparitaka sy ny firafitry ny sarimihetsika silicon simidoriste ary nanomboka ny fikarohana momba ny sensor prézoresistive. Tamin'ny faramparan'ny taona 1960 sy ny fiandohan'ny taona 1970, dia ny teknolojia telo teknolojia, ny teknolojia anototropic sy ny teknolojia famokarana anodolojia, dia nanao fiovana lehibe tamin'ny sensor tsindry, izay nitana andraikitra lehibe tamin'ny fanatsarana ny fampisehoana ny sensor tsindry. Hatramin'ny taona 1980, miaraka amin'ny fampandrosoana ny teknolojia MicRokachining, toy ny horonam-panafody Anisotropic, lithograpika, ny fitrandrahana, ny famatorana sy ny fitrandrahana dia nihatsara ny haben'ny tsindry, ary ny vokatra dia tsara ary tsara ny fampisehoana. Mandritra izany fotoana izany, ny fampandrosoana sy ny fampiharana ny teknolojia MicromchAchining New MicromchAchining dia mahatonga ny filam-bary marefo ny sensor tsindry.