Azo ampiharina amin'ny Passat fuel common rail pressure sensor 06E906051K

1. Fomba fanamboarana sensor fanerena, ahitana:

Manome substrate semiconductor, izay misy sosona dielectric interlayer voalohany, sosona dielectric interlayer voalohany ary sosona dielectric interlayer faharoa miforona eo amin'ny substrate semiconductor.

Plate electrode ambany ao amin'ny sosona dielectric interlayer voalohany, electrode mifamatotra voalohany hita eo amin'ny sosona mitovy amin'ny takelaka electrode ambany ary misaraka.

Sosona mampifandray;

Mamorona sosona sorona eo ambonin'ny takelaka polar ambany;

Mamorona takelaka electrode ambony amin'ny sosona dielectric interlayer voalohany, ny sosona interconnection voalohany ary ny sosona sorona;

Rehefa avy namorona ny sorona sorona sy alohan`ny namoronana ny takelaka ambony, ao amin`ny sosona interconnection voalohany

Manangana ny fifandraisana Groove, ary mameno ny fifandraisana Groove amin`ny ambony lovia mba hifandray elektrika amin`ny voalohany interconnection sosona;Na,

Rehefa avy namorona ny ambony electrode takelaka, mampifandray grooves dia miforona ao amin'ny ambony electrode takelaka sy ny voalohany interconnection sosona, izay

Mamorona sosona conductive mampifandray ny ambony electrode takelaka sy ny voalohany interconnection sosona ao amin`ny fifandraisana Groove;

Aorian'ny fampifandraisana elektrika ny takelaka ambony sy ny sosona interconnection voalohany, esory ny sosona sorona mba hamoronana lavaka.

2. Ny fomba hamoronana sensor sensor araka ny filazana 1, izay ao amin'ny sosona voalohany

Ny fomba fanamboarana ny sosona sorona eo amin'ny interlayer dielectric sosona dia ahitana ireto dingana manaraka ireto:

Fametrahana sosona fitaovana sorona amin'ny sosona dielectric interlayer voalohany;

Famolavolana ny sosona fitaovana sorona mba hamoronana sosona sorona.

3. Ny fomba fanamboarana ny fanerena sensor araka ny filazana 2, izay mampiasa photolithography sy ny sokitra.

Ny sosona fitaovana fanaovana sorona dia lamina amin'ny dingan'ny etching.

4. Ny fomba fanamboarana ny fanerena sensor araka ny fitakiana 3, izay ny sorona sosona

Ny fitaovana dia karbaona amorphous na germanium.

5. Ny fomba fanamboarana ny fanerena sensor araka ny fitakiana 4, izay ny sorona sosona

Ny fitaovana dia karbaona amorphous;

Ny entona etching ampiasaina amin'ny dingan'ny fametahana ny sosona fitaovana sorona dia ahitana O2, CO, N2 ary Ar;

Ny masontsivana amin'ny dingan'ny etching ny sorona ara-nofo sosona dia: ny fikorianan'ny isan-karazany ny O2 dia 18 SCCM ~ 22 SCCM, ary ny fikorianan'ny tahan'ny CO dia 10%.

Ny tahan'ny fikorianan'ny dia manomboka amin'ny 90 SCCM ka hatramin'ny 110 SCCM, ny fikorianan'ny N2 eo anelanelan'ny 90 SCCM hatramin'ny 110 SCCM, ary ny fikorianan'ny Ar.

Ny isan-karazany dia 90 SCCM ~ 110 SCCM, ny tsindry isan-karazany dia 90 mtor ~ 110 mtor, ary ny fitanilana hery dia

540w660w.