Azo ampiharina amin'ny passat passat ny tsindry fanangonam-bokatra mahazatra

1. Fomba iray amin'ny fananganana sensor tsindry, izay misy:

Ny fanomezana semiconductor substrate, izay misy ny sosona dielectric semiconductor voalohany, ny sosona dielectric voalohany mpiray tsikombakomba voalohany ary ny sosona Dielectric Dielction Dielction dia noforonina tamin'ny semiconductor substrate.

Lovia elektronika ambany indrindra ao amin'ny Layer Dielectric In Interlayer voalohany, elektronika voalohany izay hita ao amin'ny takelaka mitovy amin'ny takelaka elektronika ambany ary tsy misaraka.

Mampifandray sosona;

Mamorona sosona sorona mihoatra ny takelaka ambany ambany;

Mamorona takelaka elektronika ambony amin'ny sosona sela stresectric voalohany, ny sosona fifandraisana voalohany ary ny sosona sorona;

Rehefa avy namorona takelaka sorona sy talohan'ny namoronana ny takelaka ambony, tamin'ny soson-tsarimihetsika voalohany

Mamorona ny fifandraisana fifandraisana, ary mameno ny fifandraisana amin'ny lovia amin'ny takelaka ambony amin'ny alàlan'ny elektrika miaraka amin'ny sosona fifandraisana voalohany; Na,

Aorian'ny fananganana takelaka elektronika ambony, ny fampifandraisana ny grooves dia noforonina ao amin'ny takelaka elektrôma ambony ary ny sosona fifandraisana voalohany, izay

Mamorona sosona conductive mampifandray ny takelaka elektronika ambony sy ny sosona fifandraisana voalohany amin'ny fifandraisana Groove;

Aorian'ny fampifandraisana herinaratra ny takelaka ambony sy ny sosona fifandraisana voalohany, fanesorana ny sosona sorona mba hamolavola lava-bato.

2. Ny fomba amin'ny fananganana sensor tsindry araka ny fitakiana 1, izay ao amin'ny sosona voalohany

Ny fomba amin'ny fananganana takelaka sorona amin'ny sorona an-tsokosoko dia misy fepetra manaraka:

Fametrahana sosona ara-nofo ho sorona amin'ny sosona stritectric interlayer voalohany;

Mametaka ny sosona ara-nofo sorona mba hamolavola takelaka sorona.

3. Ny fomba amin'ny fananganana ny sensor tsindry araka ny fangatahana 2, izay ampiasaina ny fakana sary sy ny sokitra.

Ny sosona ara-pitaovana sorona dia lamaody amin'ny alàlan'ny fizotran'ny etching.

4. Ny fomba amin'ny fananganana sensor tsindry arakaraka ny fangatahana 3, izay misy ny takelaka sorona

Ny fitaovana dia karbonika amorphous na alemà.

5. Ny fomba amin'ny fananganana sensor tsindry araka ny fitakiana 4, izay misy ny sosona sorona

Ny akora amorphous dia karbonina;

Ny entona etching nampiasaina tamin'ny fizotran'ny sorona ny sosona ara-nofo dia misy O2, CO, N2 ary Ar;

Ny tarehimarika ao amin'ny fizotry ny santionany dia misy sosona ara-nofo dia: ny fandehan'ny O2 dia 18 SCCM ~ 22 SCCM, ary ny 10% ny fandehan'ny co.

Ny taham-bolan'ny fikorianam-bokatra dia avy amin'ny 90 SCCM ka hatramin'ny 110 SCCM, ny habetsaky ny fandehan'ny N2 avy amin'ny 90 SCCM ka hatramin'ny 110 SCCM, ary ny fandehan'ny AR.

Ny isan-karazany dia 90 SCCM ~ 110 SCCM, ny sombin-tsindry dia 90 MTOR ~ 110 MTO, ary ny herin'ny bà

540w ~ 660W.