Ny sensor fanerena semiconductor fampiasa matetika dia mampiasa wafer silisiôna N-karazana ho substrate.Voalohany, ny wafer silisiôma dia natao ho ampahany elastika mitondra adin-tsaina miaraka amin'ny geometrika sasany.Ao amin'ny ampahany mitondra ny adin-tsaina amin'ny wafer silisiôma, efatra P-karazana fanoherana diffusion atao amin'ny samy hafa toromarika kristaly, ary avy eo dia misy efatra-sandry Wheatstone tetezana miforona miaraka amin'ireo resistors efatra.Eo ambanin'ny fihetsiky ny hery ivelany, ny fiovan'ny soatoavin'ny fanoherana dia lasa famantarana elektrika.Ity tetezana wheatstone misy fiantraikany amin'ny tsindry ity dia ny fon'ny sensor sensor, izay matetika antsoina hoe tetezana piezoresistive (araka ny aseho amin'ny sary 1).Ny toetra mampiavaka ny tetezana piezoresistive dia toy izao manaraka izao: ① mitovy ny sandan'ny fanoherana ny sandry efatra amin'ny tetezana (rehetra r0);② Ny fiantraikan'ny piezoresistive amin'ny sandry mifanila amin'ny tetezana dia mitovy lanja ary mifanohitra amin'ny famantarana;③ Ny tahan'ny mari-pana amin'ny sandry efatra amin'ny tetezana dia mitovy, ary mitovy foana ny mari-pana.Ao amin'ny fig.1, R0 dia ny sandan'ny fanoherana tsy misy adin-tsaina amin'ny mari-pana amin'ny efitrano;RT dia ny fiovan'ny mari-pana amin'ny fanoherana (α) rehefa miova ny mari-pana;Υ Rδ dia ny fiovan'ny fanoherana ateraky ny fihenjanana (ε);Ny voltase mivoaka amin'ny tetezana dia u=I0 Δ Rδ=I0RGδ (tetezana loharano tsy tapaka).

Raha ny I0 dia loharanon-tsarimihetsika amin'izao fotoana izao ary ny e dia voltora loharanon-tsarimihetsika tsy miova.Ny tanjaky ny fivoahana amin'ny tetezana piezoresistive dia mifanandrify mivantana amin'ny tebiteby (ε) ary tsy misy ifandraisany amin'ny RT vokatry ny coefficient ny hafanana amin'ny fanoherana, izay mampihena be ny fifindran'ny mari-pana amin'ny sensor.Ny sensor fanerena semiconductor be mpampiasa indrindra dia sensor ho an'ny fanerena ny fluid.Ny rafitra fototra dia kapsule vita amin'ny silisiôma monocrystalline (araka ny aseho amin'ny sary 2).Ny diaphragm dia atao kaopy, ary ny fanambanin'ny kaopy dia ny ampahany mitondra ny hery ivelany, ary ny tetezana fanerena dia atao eo amin'ny farany ambany amin'ny kaopy.Ny pedestal pedestal dia vita amin'ny akora kristaly tokana silisiôna iray ihany, ary avy eo dia mifatotra amin'ny pedestal ny diaphragm.Ity karazana sensor fanerena ity dia manana tombony amin'ny fahatsapana avo lenta, ny boky kely ary ny fahamendrehana, ary efa be mpampiasa amin'ny fiaramanidina, ny fitetezana habakabaka, ny fitaovana automatique ary ny fitaovana fitsaboana.